晶圆是制作半导体所用的硅晶片,其原材料为硅(Silicon),普通的石英沙提纯后得到多晶硅,但是由于多晶硅内部的硅晶体结构不均匀,为了消除这些不对称的内部结构,需要对多晶硅进行处理,将高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种,然后慢慢拉出,让其可以用于晶圆生产的电性良好的圆柱形单晶硅,再经过多道工序,包括把硅棒去头去尾、打磨、抛光、切片,就有了硅晶圆片。
单晶硅 single crystal silicon
然后进行光刻、清洗等技术手段就有了芯片的雏形,裸片芯片,通过封装就有了我们可以使用的芯片,简单来说,晶圆就是半导体的原材料。经过多年发展,国内晶圆生产已经完全摆脱了国外垄断,形成了完整的产业链。
硅晶圆片 silicon wafer
那么,晶圆的良次品怎么筛选呢?这时就要借助探针卡了,探针卡是由探针、电子元件、线材与印刷电路板组成的一种测试接口,根据不同的情况,还有电子元件、补强板等需求,主要对裸芯进行测试,即wafer level测试。
良次品筛选 Screening of good and bad products